Parylene 薄膜的制备聚合过程

常用制备派瑞林的方法是化学气相沉积法(CVD)，反应物质在气态条件下发生空间气相化学反应，在固态基体表面直接生成固态物质，进而在基材表面形成涂层的一种工艺技术。派瑞林薄膜制备过程为环状二聚体在高温下两个相连甲基碳碳键断裂，生成具有活性的对二亚甲基苯单体，当其从高温环增进入宰温环境的沉积宰时，不稳定的单体就会聚合成膜，整个制备工艺过程分为三步。