派瑞林(Parylene)涂层沉积工艺

派瑞林(Parylene)涂层的气相沉积制备过程如下：

a、固态的派瑞林原料在蒸发腔内吸热升华;

b、升华后的派瑞林气体进入裂解腔，在高温作用下，形成活性派瑞林单体;

c、派瑞林单体被送到室温的真空沉积室里，在工件表面进行沉积聚合，形成一层致密的保护膜。